本站音书，左证企查查数据裸露敏芯股份（688286）新取得一项发明专利授权，专利名为“MEMS传感器相等微机电结构、微机电结构的制造智商”，专利肯求号为CN202110212913.X，授权日为2024年5月3日。

专利撮要：本肯求公开了一种MEMS传感器相等微机电结构、微机电结构的制造智商。该微机电结构包括：背板，具有至少一个通孔；感应膜，包括通顺区、非通顺区、贯穿通顺区与非通顺区的梁结构，通顺区与背板组成可变电容；至少一个贯穿柱，每个贯穿柱的一端与感应膜的通顺区固定贯穿；以及至少一个可动结构，分手位于相应的通孔中以与背板分离，每个可动结构与相应的贯穿柱的另一端固定贯穿，其中，可动结构在感应膜上的正投影与部分非通顺区重合。该微机电结构通过可动结构对感应膜的形变经过进行罢休，从而提升MEMS传感器的抗机械冲击才气。

本年以来敏芯股份新取得专利授权29个，较旧年同时减少了6.45%。聚首公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面插足了7790.71万元，同比增11.7%。

数据开首：企查查

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